Optical and structural properties of silicon carbon nitride thin films deposited by reactive pulsed laser ablation / Neri F.; Tripodi P.; Trusso S.; Faggio G.. - In: RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS. - ISSN 1042-0150. - 165(2010), pp. 754-759. ((Intervento presentato al convegno 4th International Workshop on 'Pulsed Plasma Laser Ablation' (PPLA 2009) tenutosi a Monte Pieta, Messina (Italy) nel 18-20 Giugno 2009.
Titolo: | Optical and structural properties of silicon carbon nitride thin films deposited by reactive pulsed laser ablation |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2010 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11570/1904391 |
Appare nelle tipologie: | 14.a.2 Proceedings in extenso su rivista |
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